将空气微粒子（AIRBONE PARTICULATE）、温度、湿度、室压、 气流、风速、振动、噪音、照明及微生物等控制在某一规定值内的特定房间，被称为 CLEAN ROOM。

无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

以每1 FT3空气中，含有≧0.5ΜM 浮游粒子数量为依据，作为空气清净程度的等级区分。例如：在1 FT3空气中，若含有100个≧0.5ΜM 的浮游粒子，则称为100级（CLASS 100）。清净度等级的主要依据为美国联邦标准（FEDERAL STANDARD）FS209，共区分为1级、10级、100级、1000级、10000级、和100000级等六级。1992年，FS209E又增加SI制等级。

根据房间不同的洁净度要求，选用不同的机组送入数量不等的清洁空气，同时排走室内产生的所有脏空气，使室内空气维持在净化车间要求的洁净度水平。